1. <ins id="cojnf"><acronym id="cojnf"><big id="cojnf"></big></acronym></ins>
    2. <ins id="cojnf"><dl id="cojnf"></dl></ins>
    3. <listing id="cojnf"><input id="cojnf"></input></listing>

      <font id="cojnf"></font>

    4. <u id="cojnf"><dl id="cojnf"><small id="cojnf"></small></dl></u>
      600系列光刻機 —— IC前道制造


      SSA600/20

      SSC600/10

      SSB600/10

      SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術,可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求。該設備可用于8寸線或12寸線的大規模工業生產。
         主要技術參數

      型號 SSA600/20 SSC600/10 SSB600/10
      分辨率 90nm 110nm 280nm
      曝光光源 ArF excimer laser KrF excimer laser i-line mercury lamp
      鏡頭倍率 1:4 1:4 1:4
      硅片尺寸 200mm或300mm 200mm或300mm 200mm或300mm

      色三级床上片电影完整版 - 视频 - 在线观看 - 影视资讯 - 爱赏网