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      長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


      SOM255/10

      SOM245/10

      SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
         產品特征

      ● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

      ● 高測量精度,CD測量重復性30nm,TP測量重復性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

      ● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

      ● 高效的溫度控制系統

      ● 快速靈活的客制化服務

         主要技術參數

       型號

      SOM245/10 

       SOM255/10

       CD測量重復性

       30nm@3Sigma

       30nm@3Sigma

      CD測量復現性

      50nm@3Sigma 

       50nm@3Sigma

       TP測量重復性

       280nm@3Sigma

      300nm@3Sigma

       TP測量復現性

      400nm@3Sigma 

      450nm@3Sigma

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